標題：專業(yè)的晶圓表面微粒檢測儀器測量型工具顯微鏡

信息分類:站內新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時間:2013-5-29 0:35:44 將本頁加入收藏

下一篇：金屬材料實驗/礦相研究-金相試樣檢測顯微鏡 　　　　　 上一篇：借助金相顯微鏡觀察焊道試片的微觀結構變化

收藏到：

點擊查看產品參數(shù)和報價--丨--

--- --- ---

正文:

晶圓表面微粒量測工具顯微鏡

晶圓表面納米微粒量測技術

除了薄膜的檢測技術，在半導體、TFT 的制程中，晶圓表面加工程序前后的品質對

于往后成品的良率有直接的影響。因此，在任何加工前或是清洗后，晶圓表面的品質檢

測，包括缺陷、微粒、Crystal Originated Pits (COPs)等，或是加工程序(deposition, patterning,

polishing, etching, cleaning)后，包括 CD、薄膜厚度、pattern 缺陷、應力分析、微粒、

片電阻等，各項品質參數(shù)需要檢驗。此一工作項目，即針對晶圓表面微粒檢測技術及標

準，做為訴求，以期提升并建立晶圓表面微粒檢測技術，解決半導體業(yè)檢測需求，服務業(yè)界。

為因應量測物之材料特性，非接觸式方法量測晶圓表面是最佳選擇。為提高生產

量，光學檢測技術則是最佳選擇。因此，此研究將以光散射的原理，做為量測方法，
整個散射光量測系統(tǒng)架構科學。
量測系統(tǒng)主要利用激光光打入欲量測的物體表面（預設是晶圓），然后利用一光接受裝置收取激光光的散射，利用此散射現(xiàn)象來判

斷晶圓上微粒的粒徑大小。因此整個量測系統(tǒng)可以分成三個部分來組成，包含光源裝

置、待測物運動機構、光接收裝置等。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經允許請勿轉載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4311.html 　
　　北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應商