標(biāo)題：金屬材料實(shí)驗(yàn)/礦相研究-金相試樣檢測(cè)顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-5-29 0:36:14
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正文:
清潔油污檢測(cè)
從光散射 Rayleigh 的理論來(lái)說(shuō)，當(dāng)微粒直徑遠(yuǎn)小
于光波長(zhǎng)時(shí)，散射光源可視為點(diǎn)偏振 dipole。光源入射晶圓表面微粒后，產(chǎn)生之反射光
也會(huì)照射在微粒上，形成 dipole，產(chǎn)生半圓的散射光
納米繞射及散射線寬量測(cè)技術(shù)AFM 量測(cè) CD 線寬量測(cè)技術(shù)，采用左右傾斜，兩次掃描量測(cè)，
再以縫補(bǔ)技術(shù)補(bǔ)償誤差，經(jīng)測(cè)試后，發(fā)現(xiàn) AFM電子顯微鏡 固定探針機(jī)構(gòu)，會(huì)干涉到左右傾斜角度，
所以必需改采前后傾斜，已開(kāi)始設(shè)計(jì)采前后傾斜所需調(diào)整機(jī)構(gòu)。
階高標(biāo)準(zhǔn)片(介于 1-100 μm)研制
階高標(biāo)準(zhǔn)片(介于 1-100 μm)是采用在 50 mm 直徑圓形基板上，表層加工成精密鏡
面，再以鉆石刀精密加工凹槽，可視要求規(guī)格，加工不同階高，已有完成品，但標(biāo)準(zhǔn)件
加工成本太高，若能分割成多片傘形尺寸，可降低成本外，整體尺寸與重量都能大幅降低，
切割困難性在于可能會(huì)損毀鏡面表面或階高標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)生變形，加工屑料微粒會(huì)掉入階
高凹槽內(nèi)，冷卻液污損標(biāo)準(zhǔn)件等問(wèn)題。
將測(cè)試以線切割方式，將階高標(biāo)準(zhǔn)片浸于冷卻液，避免高溫，加工屑料損傷鏡面，
加工完成后，再以超音波清潔油污與殘屑
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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