標題：光刻、印刷等工藝樣品平整度及表面粗糙度測量儀
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-4-2 12:15:45
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正文:
基片平整度
基片的平整度對安置掩模、光刻、印刷等工藝有直接影響。如果基片
不平整，則通過這些工藝得到的圖案會偏離原設計形狀，并且隨批量而
不同，這就是直接影響到生產(chǎn)的是一致性，這種現(xiàn)象對于精密電阻網(wǎng)絡
和各種細線工藝影響特別嚴重。
混合集成電路對基片的要求
基片在電路中的作用
在混合集成電路中，基片起著承載薄厚膜元件，互連、外貼元件和器
件以及包封等作用，在大功率電路中，基片還有散熱的作用。
在通常的混合電路中，薄厚膜阻容元件，互連導電帶等是直接淀積在
基片上的，而一些外貼的阻容元件，晶體管、半導體集成電路等，則按
照電路設計被“貼”在基片是的一定部位，從而成為混合集成電路，然
后再封裝。
在混合集成電路中，基片是直接與薄膜元件相接觸的，因此基片本身
的性質(zhì)，對混合集成電路的性能，特別是可靠性和生產(chǎn)中可重復性等關
系非常密切，在混合集成電路生產(chǎn)中，基片通常是外購的，對于混合集
合電路的設計者和制造者來說，關鍵在于怎樣選擇、正確應用和充分發(fā)
揮基片材料的特性，使得制造出的電路既穩(wěn)定可靠，又成本便宜。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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