標題：待測表面輕微鍍鋁厚度測量用工具顯微鏡廠商
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-8-20 17:27:14
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正文:
常規(guī)的位移條紋.在另外一些類型中，可用干涉米增強象襯度
表面具有低反射率和高透射性，便可看到雙光束菲氏(Fizeau)干
涉條紋.參考表面可以是薄玻璃片(例如蓋板玻璃)或者是為適合
顯微鏡物鏡端部而設計的某種輔助裝置.更為完善的雙光束儀器
的優(yōu)點是:
用不著與被觀察表面緊密接觸的參考表面，可在放大倍數(shù)相當?shù)?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
的情況下用來研究晶片表面的平整度
用雙光束儀器檢測平整度，大概直至其波長的十分之一也有效。
為提高反射性而將參考表面和待測表面輕微鍍鋁時，會產(chǎn)生多
次反射，線條變得敏銳了.如果十分細心的話就能夠把靈敏度
增加到5~10埃.
還有一些利用干涉法以獲得象襯的方法，最簡單的一種
方法是下述常規(guī)的相襯.然而，以偏振光顏色為基礎的更加精巧
的技術使用起來更令人滿意，它通常能給出強度更高的象來.
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