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標(biāo)題:光電微機電元件輪廓尺寸量測工具顯微鏡廠商

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2013-9-24 17:18:24 將本頁加入收藏

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光電微機電元件輪廓尺寸量測工具顯微鏡廠商



如何量測及控制薄厚膜材料之性質(zhì),對于開發(fā)光電、半導(dǎo)體及微機電元
件系統(tǒng),以及其相關(guān)制 程是非常重要的。雖然一般塊材的性質(zhì)或行為大
都可以經(jīng)由一些標(biāo)準(zhǔn)材料手冊查詢而得,然而薄厚 膜材料就不見得那樣
方便。

一般而言,薄厚膜材料性質(zhì)除了與制程條件不同而有所不同外,與溫度的
改變也有密切的關(guān)系,更何況許多材料會在不同溫度狀況下使用,溫度對
這些材料的影響如何,是必須有所了解的。

此外,無論何種薄膜制造技術(shù)。










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