標(biāo)題：檢測儀器常識-機(jī)械零件測量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-6-6 0:54:40
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正文:
光感檢測系統(tǒng)近幾年來蓬勃發(fā)展，不論是傳統(tǒng)機(jī)械零件、微生物晶片、
光學(xué)元件或是晶圓被覆薄膜等的表面性狀(Surface Integrities)檢驗(yàn)，
它都能做出快速準(zhǔn)確的判斷，使得量測穩(wěn)定性及可靠性提高。
因光學(xué)檢測系統(tǒng)為非接觸式，可直接線上量測；不但省去傳統(tǒng)受測件拆
卸的繁瑣步驟、維持受測件的原本樣貌、
延長檢測儀器的壽命，最重要的是其量測精度高。
而這些表面參數(shù)對散射的影響，仍需建立起一套量測機(jī)制來對它分析。本研究乃針對超密加工之模具模仁表面粗糙度，做光散射的效應(yīng)研究。
機(jī)械元件或某些電子元件之表面粗糙度是一個影響元件性能的參數(shù)，
就如雷射活性介質(zhì)之晶體、發(fā)光二極體量子井、太陽能板之薄膜
層等，其表面粗糙度品質(zhì)嚴(yán)重影響其光學(xué)、電學(xué)或機(jī)械性質(zhì)。
而對于一個理想的反射面(Specular Reflection)或所謂的光學(xué)平滑面而
言，其表面的不平整尺寸是遠(yuǎn)小于所使用的光波長，
當(dāng)表面不平整尺寸逐漸接近、甚至超越光波長時，其散射效應(yīng)必然逐增加
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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