標題：觸針的表面光潔度測量顯微鏡的結(jié)構(gòu)設計
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-8-17 18:38:09
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正文:
在用觸針的表面光潔度測量顯微鏡的機構(gòu)設計方面，成問題的是，為了
求得正確的斷面形狀曲線，要有必要的機構(gòu)。把它與電動式表面光潔
度測量顯微鏡進行具體地探討之后，就能理解下述各方面的設計問題。
(1)將機械量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏康淖儞Q器就是所調(diào)的位移型變換
器。這種變換器必須是觸針即使停在任意位置，也會得到對應于該位置的
輸出信號，必須是具有頻率特性的變換器。為了將具有這種性能的位移型
變換器裝入觸針或它的夾持裝置的機構(gòu)設計和結(jié)構(gòu)設計，
(2)由于采用作為測量基準的是觸針夾持裝置的直線運動
的軌跡(在這種情況下，夾持裝置內(nèi)裝有變換器，以后稱之為傳
感器)。傳感器要有高精度直線運動的導向機構(gòu)和由此而產(chǎn)生的
裝置。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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