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正文:

聚焦點(diǎn)的直徑大于其繞射極限，所以這是我們以后要再改進(jìn)的地方，而激光準(zhǔn)直光源通過(guò)微透鏡陣列之后呈現(xiàn)高斯分佈，

其中光能量落在光敏區(qū)的范圍之內(nèi)為有效，分佈在光敏區(qū)以外的光能量則是損耗，經(jīng)過(guò)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)量測(cè)得到光強(qiáng)度分佈，微透鏡陣列光強(qiáng)度分佈圖為打在以半圓形光罩所交叉拖拉加工之微透鏡，為透鏡孔徑為 50μm、曲率半徑為 25μm 之微透鏡陣列所形成的聚焦點(diǎn)圖，為其所形成的聚焦點(diǎn)能量分佈等高線圖。同理經(jīng)計(jì)算，聚焦點(diǎn)的直徑小于 10μm，而其繞射極限為：Wmain ≅ 2（λ×R）/H = （2×0.6328µm×25µm）/50µm = 0.633µm

同樣，聚焦點(diǎn)的直徑大于其繞射極限蠻多的，也比圓弧形光罩所加工之微透鏡大的多，原因所在應(yīng)該在是其加工并非為圓對(duì)稱之加工。所以以圓弧形之光罩所加工之微透鏡會(huì)比半圓形光罩加工要較接近球狀面些，所以這是我們以后要再改進(jìn)的地方。