標(biāo)題：顯微鏡知識之激光加工上量測上的誤差的原因簡介
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-2-10 2:03:15
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正文:
顯微鏡知識之激光加工上量測上的誤差的原因簡介
誤差以及量測上的誤差加以深入探討，
以期得到更完美的微光學(xué)元件，及更完美的量測數(shù)據(jù)。
制程上的誤差
產(chǎn)生制程上的誤差有多種的原因，而最主要的原因為在制程時，
未能掌握制程參數(shù)的最佳狀態(tài)，如準(zhǔn)分子激光的輸出能量、準(zhǔn)分子
激光的輸出頻率以及工作平臺的移動速度，對這些參數(shù)的控制極為
重要，以及其實準(zhǔn)分子激光的熱效應(yīng)還是存在的，因為邊緣的深寬
比要比中間稜鏡部份的深寬比大，所以需注意準(zhǔn)分子激光能量的控
制，能量太大此現(xiàn)象會更明顯。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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