標(biāo)題：測(cè)量電子顯微鏡的原理介紹-三坐標(biāo)測(cè)量工具顯微鏡廠家

信息分類(lèi):站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2013-1-20 1:06:10 將本頁(yè)加入收藏

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正文:

在一般的原子力顯微鏡中探針懸臂的垂直位置是利用雷射光經(jīng)由懸臂反射至感光二極體偵測(cè)器所偵測(cè)，

當(dāng)懸臂彎曲造成雷射光偏斜，由偵測(cè)器所接收到的雷射光偏移訊號(hào)透過(guò)回饋訊號(hào)取得樣品表面位移量。

而在量測(cè)壓電力顯微鏡中偵測(cè)器接收的探針的整體偏斜訊號(hào)中也包含了因施加 AC 電壓于導(dǎo)電探針與鐵電

材料薄膜的下電極間所造成樣品表面壓電響應(yīng)的局部震盪的訊號(hào)，而此訊號(hào)可透

過(guò)鎖相放大器擷取出來(lái)并且排除掉表面形貌的訊號(hào)。而由鎖相放大器所偵測(cè)到的

振盪訊號(hào)中的 first harmonic 代表鐵電材料的壓電常數(shù)(piezoelectric constant)，更

進(jìn)一步稱(chēng)為壓電響應(yīng)訊號(hào)(piezoresponse signal)，其與樣品表面振盪的振幅及相位有關(guān)

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