第一標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），不鍍膜。 工作直徑

D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30)

第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），不鍍膜。 工作直徑

D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20)

準(zhǔn)直系統(tǒng)

D1=Φ146mm

工作直徑

f=400mm

測微目鏡

焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X，視場角2w=40o，成像物鏡：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37

干涉室尺寸

深260*寬300*190mm

光源規(guī)格

激光ZN18（He-Ne）

外形尺寸

長*寬*高 350*400*720mm

重量

100公斤