標題：光學測量在測量與被測表面不接觸,測量速度快
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-12-7 1:41:20
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正文:
光學測量在測量與被測表面不接觸,測量速度快
聚焦探測法又稱為光學探針法，它類似于機械觸針法，將聚焦
光束代替金剛石觸針，然后利用不同的光學原理，來檢測被測表面
的形貌相對于聚焦光學系統(tǒng)的微小距離變化。利用聚焦探測原理進
行表面形貌測量的方法有多種，根據(jù)聚焦誤差信號檢測方式的不同
，主要有傅科刀口法、差分法、光強法、臨界角法、像散法及偏心
光束法等。
光學測量法在測量時與被測表面不接觸，測量速度快，而且在
一定程度上克服了觸針法的缺點——避免損傷樣品表面。但各類光
學法除各自自身的技術問題之外，存在著一個共性的缺點：橫向空
間分辨率由于受阿貝衍射極限的限制而只能達到亞微米級水平，對
于空間波長接近納米級的超光滑表面而言這一分辨率是遠遠不夠的
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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