標(biāo)題：光學(xué)輪廓儀在標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡上使用-物鏡的設(shè)計
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-7-3 21:15:52
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正文:
干涉光學(xué)輪廓儀
干涉型光學(xué)輪廓儀在標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡上使用內(nèi)置干涉儀的物鏡取代
了標(biāo)準(zhǔn)物鏡。通過分析這些物鏡獲得的干涉信號，可以獲得檢測對
象的定量數(shù)據(jù)。干涉光學(xué)輪廓儀通常通過記錄很多幀數(shù)據(jù)，來估算
每一個探測點上的表面高度。在測量過程中，干涉信號會隨測量光
束與參考光束的光路變化而變化，
用壓電傳感器或電動掃描來驅(qū)動物鏡使其相對測試表面發(fā)生運
動得到相移或者垂直掃描技術(shù)可以實現(xiàn)這種變化。一些利用光源光
譜特性的方法可以避免機械掃描、如波長掃描、波長分散等。這些
方法的細節(jié)與被檢測對象的類型有關(guān)。
四種比較典型的干涉物鏡裝置是以邁克爾遜(Michelson)、米
勞(Mirau)、林尼克(Llinnik)、菲佐(Fizeau)干涉儀為基礎(chǔ)的。在
為某一特定測量確定合適的物鏡時，要考慮到很多因素。這些因素
包括放大倍數(shù)、更精確的數(shù)值孔徑用以分辨樣本特征、測量樣本上
的斜率和高度。同時，需要選擇能夠測量樣本上完整有用區(qū)域的放
大率。
干涉物鏡的設(shè)計受到系統(tǒng)的機械限制。四種典型物鏡的區(qū)別在
于光束被分成參考光束和測量光束的方式。其中，除了菲佐物鏡外
，參考鏡都被放置在物鏡的最佳聚焦點上，以便當(dāng)樣本被放置在焦
點上時能夠獲得最佳條紋對比度。為了得到最佳聚焦位置，必須首
先把測量對象放置在焦點上，然后移動參考鏡直到獲得最佳條紋對
比度的位置，這個位置就相當(dāng)于最佳聚焦位置。最佳條紋對比度正
好對應(yīng)著干涉儀內(nèi)兩個臂上物體的位置與參考鏡之間的光程差(OPD
)為零。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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