標(biāo)題：光柵本身的參數(shù)決定著莫爾法的測(cè)量靈敏度-光學(xué)儀器
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-2 15:18:46
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正文:
光柵本身的參數(shù)決定著莫爾法的測(cè)量靈敏度-光學(xué)儀器
我們知道，光柵本身的參數(shù)決定著莫爾法的測(cè)量靈敏度，節(jié)距越小
，靈敏度越高。為了滿足不同測(cè)量場(chǎng)合對(duì)靈敏度的不同要求，或同
一場(chǎng)合下對(duì)可變靈敏度的要求，就應(yīng)該能簡(jiǎn)便地、快速地獲得一個(gè)
不同節(jié)距的光柵。
Chiany和Jaisingh以及Asundi分別在反射莫爾及陰影莫爾領(lǐng)域
各自發(fā)展了可改變節(jié)距的方法，但這些方法在測(cè)量過程中仍需變更
光柵元件，且靈敏度變化范圍有限。由于用物理光柵解調(diào)變形光柵
的方法具有致命的弱點(diǎn)，人們開始嘗試通過電子或計(jì)算機(jī)模擬產(chǎn)生
的模擬光柵來解調(diào)變形光柵，這實(shí)質(zhì)上是對(duì)變形光柵進(jìn)行直接分析
的方法。1977年，Idesawa等人發(fā)展了一種稱之為掃描莫爾的方法
，它是利用掃描成像設(shè)備對(duì)變形光柵采樣并通過計(jì)算機(jī)處理，借助
于控制掃描相位、節(jié)距以及掃描線形成虛光柵的方向生成高對(duì)比度
的莫爾條紋。這種方法可實(shí)現(xiàn)條紋自動(dòng)內(nèi)插，且能通過軟件補(bǔ)償系
統(tǒng)誤差，但掃描設(shè)備的暫態(tài)非穩(wěn)定性(電噪聲)引起的莫爾條紋的高
次諧波項(xiàng)無法補(bǔ)償，不能自動(dòng)指定條紋絕對(duì)級(jí)，用于實(shí)際測(cè)量處理
速度慢。
1 989年，Blat利用聲光調(diào)制器(Acousto—Optic Cells)產(chǎn)生
了模擬光柵，柵距可通過改變聲光調(diào)制器的頻率來實(shí)現(xiàn)，從而達(dá)到
了在模式識(shí)別或機(jī)器人視覺中，為了減少運(yùn)算量而匹配合適分辨率
的目的，但這種系統(tǒng)所用到的機(jī)電裝置比較復(fù)雜。1993年，Asundi
又將計(jì)算機(jī)產(chǎn)生的光柵用于莫爾法中，利用軟件能快速、靈活地改
變計(jì)算機(jī)光柵的間距及邏輯莫爾的靈敏度，快速實(shí)現(xiàn)相移，通過兩
步相移可自動(dòng)確定邏輯莫爾的條紋級(jí)；如果配合使用液晶顯示投影
器，其應(yīng)用更為廣泛。計(jì)算機(jī)光柵為莫爾法開辟了新的天地。
許多年來，人們一直致力于莫爾法的研究，在提高精度、改善
靈敏度、實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等方面做了不少工作，積累了不少可為其他三
維面形測(cè)量系統(tǒng)借鑒的經(jīng)驗(yàn)，許多方法用于特定測(cè)量對(duì)象都取得了
比較令人滿意的結(jié)果，但都又不同程度地存在這樣或那樣的問題。
也就是說，無論哪一種改進(jìn)都不能從根本上克服莫爾輪廓術(shù)中所遇
到的所有困難，莫爾法還有待于進(jìn)一步完善和發(fā)展。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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