標題：真空涂層過程產品的質量技術分析圖像顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-5-26 21:37:41
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正文:
真空涂層過程產品的質量技術分析圖像顯微鏡
真空涂層過程參數監(jiān)測需求
在多參數過程中，傳感系統(tǒng)主要分為兩類。第一類集中在試車階段，包括涂
層裝置的測試和校準。在這方面，控制系統(tǒng)用于研究和開發(fā)，也用于涂層裝置制
造商和科研協會的維修部門。由于這些原因，所用的這類裝置是可拆裝的、復雜
的、昂貴的，然而，它體現了在涂層過程傳感系統(tǒng)上的技術發(fā)展水平。第二類包
括固定的傳感系統(tǒng)，它和涂層裝置一起穩(wěn)定地工作，是涂層制造者，例如，此裝
置的最終用戶，是監(jiān)測涂層過程所必需的。第一批傳感系統(tǒng)確保涂層裝置有很好
的構造并標準化，而第二群組是確保最終產品的質量，例如，涂層部分。在這一
在原位的涂層過程監(jiān)測，遵循和其他的自動系統(tǒng)相同的基本原理。關系到被
監(jiān)測的參數的重要性和調整的可能性，為了優(yōu)化涂層過程，可設計成開路或閉路
控制系統(tǒng)。因此，有些參數必須持續(xù)檢查而不是調整，然而其他參數與反饋系統(tǒng)
結合，可通過它們調整淀積過程。適應性控制的原理在過程參數后一組中的應用
范圍很廣。在每一種情況下，考慮到有限的薄膜厚度和其精密的特征，涂層過程
對任何淀積參數的修改都非常靈敏，甚至是瞬間的。因此每一個涉及到的傳感系
統(tǒng)必須有較高的分辨率、精確度、重復性和可靠性。這些需要將傳感器、電子裝
置和所測量值的讀值工具聯系在一起，組成了傳感器系統(tǒng)。
此類裝置的制造商一定要考慮的一個更進一步重要的參數是確保傳感器也
被涂層，但不會降低其靈敏度。為了這個目的，當必要時，過程傳感器通過特
殊的過濾器或離子阱保護起來，傳感器被看作為過程備件。另一方面，有的傳
感器，例如，用于淀積速率監(jiān)測的石英晶體，當涂層逐漸增多時，可改變其指
示。因此，在每一個涂層過程終止時，為了監(jiān)測接下來的淀積過程，必須使其
回原處。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科