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標題:被測物體表面粗糙度-工件外形的宏觀幾何構(gòu)造

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2016-5-18 12:41:38 將本頁加入收藏

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正文:

被測物體表面粗糙度-工件外形的宏觀幾何構(gòu)造

參考面接觸探測系統(tǒng)

  在非滑動系統(tǒng)中,探針位于探測器臂的尾部,探測臂在被測物體
表面的上方導向,并在垂直方向保持線性導向。探針穩(wěn)定地連接在位
于進給機構(gòu)的參考表面。表面粗糙度引起的探針漂移,被傳輸?shù)阶儞Q
器,并且根據(jù)變換器的類型,將其轉(zhuǎn)換成模擬或數(shù)字形式的測量信號
。該測量只有探針本身向被測物體表面滑動。由于這個原因,非滑動
系統(tǒng)對于振動非常靈敏。

滑動系統(tǒng)

  滑動系統(tǒng)用測量表面作為引導,并且有比非滑動系統(tǒng)較小的尺寸
。探針通過滑動接觸被測物體表面,并且根據(jù)探針頂端滑過的路徑,
獲得表面外形。根據(jù)測量項目,著陸滑動器架裝在前面、后面或探測
器頂端的側(cè)面。在著陸滑動器和探測器頂端之間有不可避免的距離,
這將導致在傳送工件表面外形時會引起失真,這取決于被測工件表面
性質(zhì)。然而,它是不精確的,因為當滑過工件表面時,發(fā)生機械過濾
;瑒悠髯鳛楠毩⒄穹,非線性,高通濾波器,依據(jù)探針和工件的幾
何構(gòu)造,消除了工件外形的宏觀幾何構(gòu)造和波度。此系統(tǒng)用于對產(chǎn)品
的快速測量。











出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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