標(biāo)題：測量覆層厚度試樣制備金相分析圖像顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-5-7 20:36:02
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正文:
利用雙光束干涉顯微鏡測量不透明覆層厚度
測量不透明覆層厚度時必須采用破壞的方法，為此在測量之
前要進(jìn)行試樣的制備。
試樣制備是將待測件被測處的覆層去掉一部分，露出基體和
形成臺階．對于某些覆層可選用適當(dāng)?shù)耐四ひ和说粢徊糠�，而�?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
退掉的覆層可用一圈膠帶粘貼上而加以保護(hù)。
為了得到多光束干涉條紋，一般應(yīng)滿足下列條件：
(1)干涉面應(yīng)噴涂一層高反射系數(shù)的薄膜，而且膜的吸收
系數(shù)很��；
(2)薄膜噴涂層如銀或鋁的厚度應(yīng)十分均勻；
(3)采用單色光源；
(4)兩反射面間的距離越小越好，最好只是單色光源波長
的幾倍；
(5)入射光波應(yīng)為一平行光束；
(6)入射光束應(yīng)盡可能垂直于試樣表面．
線性偏振光以一定角度照射有覆層的零件表面，在光通過覆
層表面以及覆層與基體界面會產(chǎn)生反射，并將產(chǎn)生橢圓偏振光。
根據(jù)偏振光的種類和偏振程度，通過計算可確定覆層厚度。
偏振光法測量覆層厚度通常是在由起偏器、補償器、檢偏器
等偏振元件制成的偏振光顯微鏡上進(jìn)行。偏振光顯微鏡是利用尼
科爾棱鏡來產(chǎn)生偏振光，稱之為起偏振片或起偏器。在起偏器的
后面插入一個同樣的起偏振片，它用來檢定起偏器所形成的偏振
光，稱之為檢偏器或分析器。
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