標(biāo)題：實(shí)驗(yàn)室顯微鏡比較量塊的形狀具有兩面拋光測(cè)量面
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-9-17 12:13:36
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正文:
除主基準(zhǔn)外，述有線紋尺與量塊之類的次等基準(zhǔn)．通過
利用波長(zhǎng)高準(zhǔn)確度檢定過的長(zhǎng)度量塊中間基準(zhǔn)與工廠或?qū)嶒?yàn)
室量具進(jìn)行具體比較量塊的形狀為具有兩面拋光測(cè)量面的
矩形平行六面體，并可相互研合．
干涉法可保證長(zhǎng)度量塊鑒定的最高準(zhǔn)確度．按檢定誤
對(duì)溫度、壓力與空氣濕度，對(duì)量塊與工作臺(tái)的溫度差，
對(duì)量塊及與之研合的乎晶材料的差別引入修正量后，以0．02
-O．03μm 的誤差測(cè)量量塊是可能的．
對(duì)單色儀的入射狹縫的寬度應(yīng)予以特殊修正．
由于基本干涉條紋偏離光源個(gè)別點(diǎn)，光源的有限
尺寸會(huì)使干涉條紋可見度降低．合成干涉條紋的可見度不僅
是降低了的，而且，即使本二F涉儀及其它干涉儀中對(duì)光源中
心的光程差是計(jì)算恰當(dāng)?shù)模泊嬖谥c光源中心對(duì)應(yīng)的基本
干涉條紋相對(duì)偏移．
大多數(shù)光學(xué)表面都是用樣板檢驗(yàn)的．然而，樣板法要求
基準(zhǔn)表面與被檢表面直接接觸，這在某些情況下是辦不到
的．有時(shí)，對(duì)檢驗(yàn)準(zhǔn)確度的要求更高，所以，在光學(xué)工業(yè)
中，與樣板法的同時(shí)，還采用按不接觸法檢驗(yàn)表面的各種干
涉儀．
觀測(cè)環(huán)時(shí)的表面局部誤差是難以識(shí)別的．為便予測(cè)量，
建議移動(dòng)透鏡來重調(diào)干涉儀，以觀察大體上是直條紋并根據(jù)
其畸變來評(píng)定局部誤差．這時(shí)，測(cè)量誤差將不大予O．1個(gè)干
涉條紋．
當(dāng)空氣隙厚度在15 mm以下時(shí)，汞燈可給出可見度足夠
高的圖樣．這就意昧著，用一面基準(zhǔn)彎月形透鏡足可檢驗(yàn)半
徑相互差別不大于15mm的表面．若以數(shù)面彎月形透鏡作為
儀器配套器件，則測(cè)量范圍可顯著擴(kuò)大．被檢凸球面曲率半
徑與直徑的極限值決定于物鏡工作區(qū)間的量
值及其相對(duì)孔徑
測(cè)量微觀不平度高度用的干涉儀
度或加工遺痕用的干涉儀稱為顯微干涉儀．如同平面度檢驗(yàn)
一樣，微觀不平度高度也是根據(jù)等厚干涉條紋的變形來進(jìn)行
測(cè)量的．不過，用于觀測(cè)微小不平度的光學(xué)儀器，其倍率要
大，分辨率要高．因此，顯微干涉儀是邁克爾遜型干涉儀
(較少用斐索型)及顯微鏡的組合
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7457.html
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