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標(biāo)題:上海光學(xué)儀器廠生產(chǎn)的6J型顯微鏡的應(yīng)用有哪些-光學(xué)儀器

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2015-7-21 14:15:23 將本頁加入收藏

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正文:

光切顯微鏡主要用于測量表面粗糙度,還可以測量小槽
寬、高度、厚度以及小的傾角。

干涉顯微鏡

   干涉顯微鏡的結(jié)構(gòu)原理利用光波的干涉現(xiàn)象,把表
微觀不平度以光波干涉條紋表現(xiàn)出來,經(jīng)放大后進(jìn)行測
量,這種測表面光潔度的顯微鏡,稱為干涉顯微鏡。
    干涉顯微鏡根據(jù)光路系統(tǒng)不同,分為雙光束干涉顯微鏡
和多光束干涉顯微鏡兩類,生產(chǎn)中常用雙光束干涉顯微鏡。
目前國內(nèi)使用的雙光束顯微鏡的型號很多,有國產(chǎn)的,也有
外國的,但它們的結(jié)構(gòu)原理、基本參數(shù)和使用方法基本上相
同。我們僅以上海光學(xué)儀器廠生產(chǎn)的6J型干涉顯微鏡為例,

介紹這類儀器的結(jié)構(gòu)原理和測量表面粗糙度的方法。
    光學(xué)系統(tǒng)由光學(xué)干涉系統(tǒng)和光學(xué)顯微系統(tǒng)兩部分組成。
光學(xué)干涉系統(tǒng)包括聚光鏡、物鏡、分光鏡、補(bǔ)償
鏡、物鏡及標(biāo)準(zhǔn)鏡和物鏡。光學(xué)顯微系統(tǒng)主要是目
鏡組和照相機(jī)。
    由光源發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡后成為平行光。該平行
光投射到孔徑光欄的平面上,照明位于投影物鏡焦平面
上的視野光欄,通過投影物鏡后射到分光鏡上。分光鏡
把射到上面的光分成二部分。一部分反射,一部分透射。
當(dāng)被測表面不是理想平面,而是凸凹不平,則干涉條紋
發(fā)生曲折。干涉條紋的曲折程度與表面的微觀不平度有關(guān)。
例如,在一理想平面上有兩條深度分別為0.3和0.15微米的
戈Ⅱ痕,用干涉顯微鏡進(jìn)行觀測時(shí),就會看到這兩條劃痕引起
干涉條紋的曲折剛好是一條干涉條紋和半條干涉條紋。因
此,可通過測量干涉條紋的數(shù)目或干涉條紋的曲折程度來評
定表面微觀不平度的高度。











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