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標(biāo)題:用電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)研究表面缺陷對膜層結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2015-7-16 13:35:30 將本頁加入收藏

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正文:

用電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)研究表面缺陷對膜層結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

 發(fā)若干年來,已有大量文章對粗糙度表面的反射作了研究,量僅
僅在近十年內(nèi),才應(yīng)用衍射理論對其作了高度嚴(yán)格的研究,有關(guān)表
面粗糙度的大量工作,過去多是從研究玻璃拋光機(jī)理的角度來研究
的;所用的光學(xué)方法僅是評價(jià)粗糙度的一種間接手段,這些理論研
究結(jié)果量也是可用對前表面反射鏡進(jìn)行質(zhì)量評論,但直至最近,對
于各相鄰膜層間可能形成的粗糙表面的影響,卻末給予足夠重視,

唯一認(rèn)識到的是,基片表面粗糙度會在膜系各界面復(fù)現(xiàn)出來,以致
于因漫射而損壞膜系的性能,最近,根舍用掃描電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)研
究了其片表面缺陷對膜層性能的影響,發(fā)現(xiàn)多層膜與單層膜中出現(xiàn)
許多結(jié)核瘤,究其原因均系表面粗糙度所致,在結(jié)核瘤處,表面不
是有微痕麻點(diǎn)坑,便是有突疣,這表明基片表面的精細(xì)拋光對提高
膜系的全面性能是至關(guān)重要的。











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