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正文:
最廣泛使用的輪廓
測量儀是電動機(jī)械的觸針式儀器
觸針式儀器——最廣泛使用的輪廓
測量儀是電動機(jī)械的觸
針式儀器,這些儀器中有一個小尺寸的金剛石觸針,機(jī)械地橫
移掃描實測表面,觸針測量力為幾十到幾百毫克力數(shù)量級,觸
針的垂直偏移使有點類似于留聲機(jī)拾音器的電動機(jī)械式傳感器
起作用,整個輸出電量被放大,或記錄表面偏離理想平滑表面
的算術(shù)平均偏差,用來把觸針的偏移時變換成電流劃電壓的傳
感器有兩種基本類型。
1 、位移式載波調(diào)制傳感器,通過觸針的位移調(diào)制載波制
器中高頻交變電流的幅度,不管觸針在給定位置保持多長時間,
2 、運動式傳感器,當(dāng)觸針從一個位置移到另一位置,在運動
式裝置中產(chǎn)生一個與觸針的運動相應(yīng)的電信號,位移感應(yīng)式產(chǎn)
生的信號直接和輪廓相關(guān),反之運動式使用了電程序,嚴(yán)重地
限制著記錄輪廓的可靠性,兩種型式都可用平均表頭指示出可
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北京顯微鏡百科
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