標(biāo)題：高精度測(cè)量顯微鏡-檢驗(yàn)傳感器測(cè)量頭的實(shí)際尺寸
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-7-11 15:07:10
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正文:
一般儀器測(cè)量精度不高的參數(shù),測(cè)量效率很高
檢定坐標(biāo)測(cè)量機(jī)常常用標(biāo)準(zhǔn)線紋米尺或激光干涉儀對(duì)每個(gè)坐
標(biāo)軸(X，Y、Z)位置進(jìn)行校準(zhǔn)。有時(shí)也使用量塊。常將樣板
任意放置在工作臺(tái)上，以便確定三個(gè)坐標(biāo)讀數(shù)裝置的綜合誤差。
在某些測(cè)量機(jī)的技術(shù)條件中，規(guī)定要單獨(dú)檢驗(yàn)坐標(biāo)軸方向位移的
垂直性，因?yàn)橹粰z驗(yàn)單個(gè)坐標(biāo)位移，不能確定垂直性對(duì)測(cè)量誤差
的影響。在第二類高精度測(cè)量機(jī)中，通常還備有經(jīng)過校準(zhǔn)盼圓球’
用來檢驗(yàn)傳感器測(cè)量頭的實(shí)際尺寸。其檢驗(yàn)方法介紹如下。用測(cè)
量頭的不周點(diǎn)與球面相接觸來測(cè)量圓球的尺寸。將得到的測(cè)頭尺
寸的數(shù)據(jù)送入電予計(jì)算機(jī)。當(dāng)使用這個(gè)測(cè)量頭時(shí)，在零件參數(shù)的
測(cè)量結(jié)果中就考慮到了測(cè)量頭的尺甘。例如在測(cè)孔時(shí)，這個(gè)尺寸
構(gòu)成被測(cè)展寸的一部分。
在工藝過程中采用坐標(biāo)測(cè)
可以保證有高的效率，首先是對(duì)表面和軸的位置這些通常不
測(cè)量(相信機(jī)床精度)或測(cè)量精度不高的參數(shù)，測(cè)量效率很高。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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