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正文:
測量表面粗糙度的接觸式儀器常稱為觸針式儀器,其工作原
理是具有小圓弧半徑的針尖沿著被測表面移動,由表面不平度引
起的針尖垂直振動,用電感、電容、壓電、電真空或其它傳感器
變換成電流電壓波動。
根據輸出信息的形式,這些儀器通常分為
輪廓儀一輪廓計
和輪廓計兩大類。
輪廓儀一輪廓計
這種儀器實際上是由輪廓儀和輪廓計兩種儀器組合而成。以
輪廓圖形式記錄法向截面上不平度的儀器稱為輪廓儀,獲得的輪
廓圖經過處理,確定表征表面粗糙度和波度的參數。輪廓計也是
用來測量法向截面上表面不平度的儀器,它以一個評定不平度的
參數值形式,在儀器的標尺上表示測量結果。
輪廓儀一輪廓計的原理是應用電感式傳感器將針尖的
振動變換成電壓波動。該儀器由傳感器
電測單元、計算處理單元和記錄器組成。電感傳感器的磁
系統(tǒng)由雙山型鐵芯和兩個線圈組成。傳感器線圈和差動變
壓器輸入初級繞組構成橋路,由音頻發(fā)生器作為電源。當傳感
器移動時;金剛石針尖與不平的表面相接觸,同時上下振動,
使得架在支承上的銜鐵也擺動。銜鐵的擺動改變與鐵芯的空
氣間隙,因而改變線圈的電感及差動變壓器輸出端的電壓。如果
儀器當作輪廓計使用,則電壓變化變換成粗糙度參數,再傳給數
字讀數裝置,如果儀器當作輪廓儀使用,則電壓變化量經放大以
后,傳送給記錄裝置。
本儀器所用的金剛石針尖有兩種圓弧半徑;0.Ol土o.0025
mm或0.002士0.002mm
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科