標(biāo)題：光電顯微鏡高精度測量移動工作臺上面的標(biāo)準(zhǔn)尺
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-6-30 22:09:42
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正文:
使用光波干涉法，直接用光波
波長決定刻線間隔，連續(xù)進行刻線。而機械研究所，采用光波
干涉測量研制成標(biāo)準(zhǔn)尺(母尺)，把母尺定為基準(zhǔn)，用數(shù)字控制
連續(xù)修正測量誤差，再刻副尺(被刻尺)。用絲杠實現(xiàn)直線移
動，用光波干涉保證刻線間隔的絕對值。
用光波干涉法直接刻線時，必須滿足以下兩條：(1)對刻
絨間隰要修正由于被刻尺的熱膨脹及空氣折射率等所引起的
誤差；(2)刻線間隔必須是干涉條紋間隔的整數(shù)倍。
為了滿足(1)，使用和被刻尺相同材料的標(biāo)準(zhǔn)尺。標(biāo)準(zhǔn)尺
兩端相對放置兩個光學(xué)平面，把被刻尺、標(biāo)準(zhǔn)尺和決定刻線間
隔的光波干涉儀全部安放在同一個密閉的容器內(nèi)，并選用與
空氣折射率相同的介質(zhì)。因為標(biāo)準(zhǔn)尺與相同材料的被刻尺溫
度相同，所以能消除因熱膨脹引起的刻線誤差。
光源和工作臺驅(qū)動系統(tǒng)放在虛線罩外的點劃線
內(nèi)的測量室內(nèi)，計數(shù)記錄裝置等放在測量室外。固定的光電
顯微鏡高精度地描準(zhǔn)、移動工作臺上面的標(biāo)準(zhǔn)尺的
刻線位置，用位于移動臺右側(cè)的帶有反光棱鏡的邁克爾遜干
涉儀精確地測量，并由計數(shù)記錄裝置計數(shù)(測量室之外)。這
樣，即可測得標(biāo)準(zhǔn)尺的移動量。為了縮短1米標(biāo)準(zhǔn)尺的測量時
問，采用六個光電顯微鏡。當(dāng)刻度中心移到各光電顯微鏡的
光軸下面時，發(fā)出主尺脈沖信號，用內(nèi)插法確定兩個脈沖之間’
的小數(shù)，這就是把正弦狀干涉條紋的一個周期分成兩份，以
V4波長(約0．14肛m)為單位，發(fā)出工作臺移動的脈沖。把此
干涉條紋的數(shù)值由電動打字機打印成電動符號，并將電動符
號輸送到外部穿孔機上穿孔。
使l米的尺子與20厘米的工作臺同時移動，并記錄各刻
度位置。過去校正1米標(biāo)準(zhǔn)尺要花幾個月，由于使用了光電
顯微鏡和自動化測量，在這個裝置上，只用50分鐘左右的時
間就可以完成。由于測量是在短時間內(nèi)進行的，因此容易保
持測量環(huán)境的穩(wěn)定，這50分鐘主要是與電動打字機的打印速
度有關(guān)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7141.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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