標題：微裝配與微操作的特點是定位精度高-工業(yè)顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-1-12 1:15:12
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正文:
微裝配與微操作的特點是定位精度高-工業(yè)顯微鏡
機器人子系統
微裝配與微操作的特點是定位精度高，對于微米尺
寸的器件，它的定位精度要求達到納米量級。與傳統的
工業(yè)機器人相比，微裝配與微操作機器人有兩個顯著的
特點:其一，機器人的自由度減少，通常為三個自由度，
即只有位置自由度而沒有姿態(tài)自由度。為了增加操作
的靈活性，一般用微運動平臺與機器人協作完成復雜的
操作。機器人與運動平臺的自由度總和為五個。對于
復雜的操作，也可以在機器人的末端增加一個旋轉自由
度，使系統的自由度達到六個。在微裝配和微操作系統
中，本質上是將機器人的多自由度進行了分解，一部分
自由度由機器人完成，另一部分由運動平臺完成，從而
提高機器人和運動平臺的精度。所以在系統中，運動平
臺一般是必須的。其二，在機器人的設計中拋棄了傳統
的機械傳動方式，也不用伺服電機進行驅動，而是采用
壓電陶瓷或超聲電機進行直接驅動。壓電陶瓷驅動
的特點是精度高，可達到納米定位精
度，但它的缺點是行程小，一般采用蠕動式機構來克服這一問題。
有的文獻中采用串一并聯的結構形式設計機器人，串聯部
分采用傳統的傳動方式，利用步進電機驅動，并聯部分采用并聯機構，
利用壓電陶瓷驅動，這種結構雖然能夠增加機器人的自由度，
增加了行程，但機構復雜、控制困難，同時由于傳動鏈長，精度反而會下降。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科