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標題:微裝配與微操作的特點是定位精度高-工業(yè)顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2015-1-12 1:15:12 將本頁加入收藏

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正文:

微裝配與微操作的特點是定位精度高-工業(yè)顯微鏡

機器人子系統(tǒng)

    微裝配與微操作的特點是定位精度高,對于微米尺
寸的器件,它的定位精度要求達到納米量級。與傳統(tǒng)的
工業(yè)機器人相比,微裝配與微操作機器人有兩個顯著的
特點:其一,機器人的自由度減少,通常為三個自由度,
即只有位置自由度而沒有姿態(tài)自由度。為了增加操作
的靈活性,一般用微運動平臺與機器人協(xié)作完成復雜的
操作。機器人與運動平臺的自由度總和為五個。對于
復雜的操作,也可以在機器人的末端增加一個旋轉(zhuǎn)自由
度,使系統(tǒng)的自由度達到六個。在微裝配和微操作系統(tǒng)
中,本質(zhì)上是將機器人的多自由度進行了分解,一部分
自由度由機器人完成,另一部分由運動平臺完成,從而

提高機器人和運動平臺的精度。所以在系統(tǒng)中,運動平
臺一般是必須的。其二,在機器人的設計中拋棄了傳統(tǒng)
的機械傳動方式,也不用伺服電機進行驅(qū)動,而是采用

壓電陶瓷或超聲電機進行直接驅(qū)動。壓電陶瓷驅(qū)動
的特點是精度高,可達到納米定位精
度,但它的缺點是行程小,一般采用蠕動式機構(gòu)來克服這一問題。

    有的文獻中采用串一并聯(lián)的結(jié)構(gòu)形式設計機器人,串聯(lián)部
分采用傳統(tǒng)的傳動方式,利用步進電機驅(qū)動,并聯(lián)部分采用并聯(lián)機構(gòu),
利用壓電陶瓷驅(qū)動,這種結(jié)構(gòu)雖然能夠增加機器人的自由度,
增加了行程,但機構(gòu)復雜、控制困難,同時由于傳動鏈長,精度反而會下降。










出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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