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標(biāo)題:研磨、拋光或其他機械加工樣品金相顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2014-12-7 20:04:52 將本頁加入收藏

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正文:

研磨、拋光或其他機械加工樣品金相顯微鏡

    缺陷的范圍很廣,它可能由空氣中的顆粒沾污造成,也可能
由化學(xué)處理的沾污造成,研磨、拋光或其他機械加工操作中所產(chǎn)
生的顆粒也是缺陷的來源。假如清洗和干燥操作不當(dāng),也會造成
玻璃的劃傷以及在精細拋光過程中由于嵌入雜質(zhì),也會造成玻璃
板的劃傷。假如在涂鉻或金屬化的過程中,在表面上存在缺陷的
話,那么就可能造成圖像錯誤。玻璃基板的兩個表面都應(yīng)去除缺
陷。在放大倍數(shù)為400的顯微鏡下能觀察到的缺陷才稱之為缺陷,
一般來說,在400倍顯微鏡下不能觀察到的缺陷是不會造成嚴(yán)重
的圖像錯誤的。但是當(dāng)圓形尺寸小于25m時,就不能再用400倍
的顯微鏡來決定缺陷是否存在了。在掩膜檢驗一章中,我們將詳
細介紹缺陷的檢驗方法,

    基板兩個表面的缺陷都會造成圖像錯誤,背面的缺陷會反射
到前面,并與前面的缺陷混在一起而影響光刻質(zhì)量。這里所討論
的缺陷,·無論是表面的還是體內(nèi)的,在光刻設(shè)備中被照明時,都
會引起不透明的斑點。這種錯誤要比改變透射特性的光學(xué)畸變嚴(yán)
重得多。











出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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