標(biāo)題：用于測(cè)量微觀不平度的儀器叫做什么工具顯微鏡
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-10-31 18:10:55
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正文:
干涉顯微鏡是用于測(cè)量微觀不平度的干涉儀，或用于測(cè)量
金屬的和其它材料的表面加工痕跡的干涉儀。如像在檢查表面形
狀那樣，按干涉條紋的彎曲量來(lái)測(cè)量微觀不平高度。而用于測(cè)欣
表而微小不平高度的光學(xué)儀器應(yīng)其有高放大倍數(shù)和分辨率。因此
干涉顯微鏡實(shí)際上是干涉儀
顯微鏡物鏡孔徑的作用為了分辨出被檢表面的狹窄痕跡(寬
度小于1微米)，儀器的放大倍數(shù)應(yīng)不低于500倍，而物鏡的孔
徑要盡可能大。但是，大家知道，孔徑增大，干涉圖祥的對(duì)比度
就降低，干涉條紋的分度值就漪大，也就是千涉顯微鏡的靈放度減
小。
當(dāng)儀器的分辨率不起主要作用時(shí)(例如在測(cè)量階梯高度時(shí))，
公式才是正確的。但是在測(cè)量窄刻線(xiàn)的深度(特別在表
而微觀峰谷的夾角很小時(shí))，物鏡孔徑越大，越接近干真實(shí)深度，
因?yàn)楫?dāng)用小孔徑物鏡工作時(shí)，有些劃痕的底部“模不到”。在
這種情況下的測(cè)覺(jué)誤差與物鏡的孔徑、刻線(xiàn)的輪廓角和其他一些
因素的相互關(guān)系還研究得不夠。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/6192.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專(zhuān)業(yè)的供應(yīng)商
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