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標(biāo)題:工件的表面粗糙度測(cè)量與觀察用工具型顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2014-8-26 14:22:34 將本頁(yè)加入收藏

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正文:

工件的表面粗糙度測(cè)量與觀察用工具型顯微鏡

    利用激光光點(diǎn)在工件表面反射測(cè)最粗糙度的方法有兩種,
一種是測(cè)量由于粗糙表面的傾斜而引起的反射角;另一種
是根據(jù)光點(diǎn)在祖糙表面反射時(shí)象點(diǎn)的變化來測(cè)最表面粗糙度。

前者稱反射角度測(cè)量法,后者稱光點(diǎn)位移測(cè)量法。此外
還有用激光光點(diǎn)做光切法測(cè)量的,經(jīng)過處理可以擴(kuò)大到二坐
標(biāo)的測(cè)量。用二坐標(biāo)排列的光電元件測(cè)量與表面粗糙度相對(duì)
應(yīng)的投射,并將投射象輸入工業(yè)用電視,再經(jīng)演算處理,即
可在加工中觀察表面粗糙度的二維形狀,還可以做硬拷貝。

    當(dāng)入射光照射到被測(cè)工件表面上時(shí),其反射光將射向熒
光屏,在熒光屏上就會(huì)觀察到特殊的斑紋隨機(jī)圖形。如果入

射光的光束直徑與表面波形的波長(zhǎng)比非常小,則反
射象不是隨機(jī)圖形,而呈點(diǎn)狀。此時(shí)反射象點(diǎn)的位
置取決于光的入射點(diǎn)處凹’凸表面傾斜角的大小,
因一此,測(cè)最反射象象點(diǎn)位置,就可以得出表面反
射傾斜角的大小(傾斜角的積分),從而便可以得出工件的表面粗糙度。

    由實(shí)驗(yàn)可知,對(duì)于波形完整的·、而且高頻振動(dòng)占主導(dǎo)的表
面,測(cè)址的效果較好。如果不充分地縮小光束,反射象一般不
呈點(diǎn)狀,而是雜亂的。所以提出了光點(diǎn)位移測(cè)量法。











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