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標(biāo)題:晶片截面分析用金相顯微鏡-檢測光學(xué)儀器

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2014-8-21 17:49:08 將本頁加入收藏

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正文:

晶片截面分析用金相顯微鏡-檢測光學(xué)儀器

    采用紅外光導(dǎo)攝象管和電子掃描,或者采用一個單元件檢測
器和機(jī)械掃描就可以構(gòu)成更完善的系統(tǒng).采用機(jī)械掃描能提供更
大的附加自由度,

因為能夠選擇在所希望的任何波長范圍內(nèi)都具
有最佳性能的透鏡或者鏡子和檢測器.例如,較長的波長有
時在勾畫雜質(zhì)濃度變化方面是有幫助的,這是因為自由載流子的
吸收是隨著波長的增加而提高.由于反射率和透射率都是載流子
濃度的函數(shù),因此在檢測摻雜的變化時,

紅外顯微鏡就象常規(guī)的金相顯微鏡一樣也能夠在反射方式下使用.

當(dāng)有可能使用時,采用反射光要簡便得多,因為晶片背面無需拋光.

不透明半導(dǎo)體的薄膜可以在不使用紅外線的情況下進(jìn)行觀察,
尤其是藍(lán)寶石上的硅,根據(jù)它的特殊的性質(zhì)(薄、背襯透明)可直
接地進(jìn)行研究










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