標(biāo)題：計(jì)量光學(xué)儀器-使用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x測(cè)量表面高度
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-7-18 22:43:56
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正文:
計(jì)量光學(xué)儀器-使用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x測(cè)量表面高度
波紋度是中等空間頻率范困內(nèi)的相關(guān)參數(shù).所以.測(cè)傲表面精度的計(jì)量裝置
要求具有較高的空間分辨率以確定波紋度以及需要大的測(cè)量范圍以測(cè)量粗糙度。
一般地.當(dāng)今的計(jì)量設(shè)備是沿著兩條相反的需求路線發(fā)展:成像計(jì)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)有
高分辨率相機(jī)和掃描計(jì)量系統(tǒng)需要更為復(fù)雜的長(zhǎng)度規(guī)(分劃尺)。比較和檢驗(yàn)計(jì)
量?jī)x器的一種良好方法是所謂的A- W圖表，有時(shí)稱為斯特德曼(Stedman)
圖，該圖表繪制出表面波長(zhǎng)對(duì)數(shù)與表面高度對(duì)數(shù)的曲線，該圖所涵蓋的面
積表述一臺(tái)計(jì)量?jī)x器的可利用范圍。
計(jì)量設(shè)備的另一種分類方法是依據(jù)數(shù)據(jù)采集方式:以連續(xù)模式采集測(cè)量點(diǎn)的
掃描系統(tǒng)和以并行方式采集數(shù)據(jù)點(diǎn)的成像系統(tǒng)。對(duì)掃描類表面計(jì)量系統(tǒng)，待淵樣
品相對(duì)于探針做機(jī)械運(yùn)動(dòng)以測(cè)量表面高度，上述三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x就是這類表面計(jì)員
應(yīng)用的理想例子。注意到.利用先進(jìn)的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x也可以非常好地探測(cè)光學(xué)表
而.尤其是較大表面.使用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是一個(gè)好主意。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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