標(biāo)題：金相顯微鏡物鏡之NA值越大,寫入的光點(diǎn)就越小
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-11-2 20:06:05
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正文:
金相顯微鏡物鏡之NA值越大,寫入的光點(diǎn)就越小
1. 當(dāng)寫入直線的速度固定，且顯微物鏡的 NA 一定時(shí)，寫入的光強(qiáng)
越強(qiáng)，對(duì)兩旁所影響的范圍有漸漸變大的趨勢(shì)。
2. 顯微物鏡之 NA 值越大，寫入的光點(diǎn)就越小。所寫入之直線，對(duì)
兩旁所影響的范圍就越小，這是我們所樂(lè)于見到的，因?yàn)槿绱艘?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
來(lái)可以提升灰階光罩的線寬
繞射光柵之灰階光罩制作
接下來(lái)的實(shí)驗(yàn)，將是采用 NA 為 0.25 的顯微物鏡來(lái)研究。
為不同寫入功率所對(duì)產(chǎn)生的最高穿透率圖，選用的是玻片 type1，寫
入為速度 250μm/s，顯微物鏡 NA=0.25。找到不同光強(qiáng)所能對(duì)玻片產(chǎn)
生之穿透率�；译A光罩的制作原理也是控制激光光強(qiáng)，在玻片上寫出
我們想要的灰階光罩
選用波長(zhǎng) 532nm 之半導(dǎo)體激光，功率達(dá) 150mＷ。
激光束先經(jīng)過(guò)聲光調(diào)制器(Acoustic Optic Modulator，AOM)，
由 AOM 可用來(lái)控制入射光的寫入時(shí)間及光強(qiáng)，其中電壓可
控制光強(qiáng)，而寫入時(shí)間的則可用電腦來(lái)控制。AOM 是用電壓來(lái)驅(qū)動(dòng)
元件中的聲波，進(jìn)而在 AO 晶體內(nèi)部形成光柵，而此光柵便可將入射
光作繞射，而由輸入的電壓的大小及時(shí)間，便可控制繞射光的強(qiáng)度。
由此我們可由電腦中的輸出電壓來(lái)控制光強(qiáng)。接下來(lái)激光寫入的光路
再經(jīng)過(guò)擴(kuò)束系統(tǒng)，使光束擴(kuò)大并平行化到約 10mm，最后經(jīng)顯微物鏡
聚焦在激光直寫玻片上，形成直徑約數(shù)個(gè)微米的圓形光點(diǎn)。此光點(diǎn)大
小直接關(guān)聯(lián)到機(jī)臺(tái)的分辨率
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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