標(biāo)題：電子顯微鏡觀察披覆基板表面晶粒尺寸大小
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-10-7 0:41:52
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正文:
電子顯微鏡觀察披覆基板表面晶粒尺寸大小
利用過渡相氧化鋁溶膠(θ-相氧化鋁)為主原料，添加適當(dāng)量之納米（<50nm）α-Al2O3粉末和水鋁礦溶膠當(dāng)作晶種，
且水鋁礦溶膠具有抑制α-相氧化鋁晶粒成長的作用，再將膠體以旋鍍方式涂佈于商用氧化鋁基板表面，
利用場發(fā)射電子顯微鏡(FE-SEM)、表面粗度量測儀(SJ-201與α-step)、X光繞射實(shí)驗(yàn)(XRD)等儀器分析，
觀察經(jīng)披覆后的氧化鋁基板表面形貌和表面粗度值的改變。
以穿透式電鏡(TEM)觀察得知，添加3wt%和9wt%的水鋁礦前置物時(shí)，
確實(shí)有發(fā)現(xiàn)水鋁礦包覆在θ-Al2O3表面的行為，當(dāng)添加水鋁礦前置物的含量增加至9wt%時(shí)，
其凝聚現(xiàn)象變得非常嚴(yán)重。選取添加水鋁礦前置物含量為3wt%的披覆基板，將其燒結(jié)至1500oC持溫2小時(shí)后后，
由SEM影像觀察得知，水鋁礦可以抑制α-相氧化鋁的晶粒成長；將披覆后之基板在不同溫度(1200oC-1500oC
)熱處理后，利用α-step量測結(jié)果得知，當(dāng)燒結(jié)溫度未超過1400oC時(shí)，
所量測得到的表面粗度Ra值確實(shí)有較未經(jīng)披覆處理基板低，且最大降幅達(dá)到64%，
但當(dāng)燒結(jié)溫度升高至1500oC時(shí)，已披覆基板的表面粗度值和未披覆基板的表面粗度值并無太大的改變，
此乃因已披覆基板之表面晶粒均已經(jīng)發(fā)生晶粒成長所致。
關(guān)鍵字:過渡相氧化鋁、旋鍍法、表面粗度值、前置物
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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