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標題:利用金相顯微鏡測試結(jié)構(gòu)乃利用簡單的面型加工犧牲層法

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2013-9-25 17:23:09 將本頁加入收藏

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正文:

利用金相顯微鏡測試結(jié)構(gòu)乃利用簡單的面型加工犧牲層法

藉由解析模式和有限元素模式的推導(dǎo),以及數(shù)據(jù)擷取和分析之程序的撰寫,
便可建立快速 求得薄厚膜性質(zhì)的實驗及分析程序。本計劃量測模組所使用之
金相顯微鏡儀器設(shè)備在一般實驗室均可方便取得。

測試結(jié)構(gòu)乃利用簡單的面型加工犧牲層法制作,可同時與元件成形在同一基板
上,監(jiān)測薄厚膜 材料之性質(zhì),而且僅占基板空間上非常小的區(qū)域。
主要是構(gòu)思
出整個量測模組之架構(gòu)及操作 方式,針對加熱器及試片治具進行設(shè)計、分析與
制作,
完成整個量測模組的組合安裝,之后設(shè)計及 制作測試結(jié)構(gòu),并進而進行
薄厚膜材料性質(zhì)之實驗量測











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