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標(biāo)題：電池制程檢測(cè)金相顯微鏡-利用網(wǎng)版涂布制作金屬電極

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電池制程檢測(cè)金相顯微鏡-利用網(wǎng)版涂布制作金屬電極

硅晶太陽(yáng)能電池制程中利用網(wǎng)版涂布的方式制作金屬電極，傳統(tǒng)一次

涂布電極寬度較寬，電極座標(biāo)系與芯片座標(biāo)系對(duì)位精度可容許有較大誤

差。為了提升電池光電轉(zhuǎn)換效率，發(fā)展兩次電極涂布制程，將原有較寬的

電極變窄，但截面積需與一次涂布時(shí)相同，甚至增加，以讓足夠的電流通

過(guò)。制程改變后，兩次涂布電極輪廓對(duì)位誤差將是轉(zhuǎn)換效率提升的關(guān)鍵因

素，本研究的目的為兩次電極涂布誤差補(bǔ)正方法與流程的探討，發(fā)展軟件

分析芯片座標(biāo)系與電極座標(biāo)系間的誤差，并發(fā)展兩座標(biāo)系間誤差補(bǔ)正的方

法，使得兩次涂布電極座標(biāo)系的誤差達(dá)到允許范圍內(nèi)

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