標題：大平臺芯片檢測顯微鏡-晶圓測試小常識
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-6-6 21:41:28
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正文:
大平臺芯片檢測顯微鏡-晶圓測試小常識
晶圓測試的機臺接地電流量到3安培，影響到機臺測試的功能，
把機臺的電源關掉也把電源線((1φ208)拆除了在機臺端量還是量到3安培的接地電流，
我在想是不是因為感應電電壓所產(chǎn)生的電流。
接至設備是用3C的電纜線，所以接地線沒有和電力線分開拉設。
不知道有沒有人有遇過相同的問題，是怎么解決的。
在晶圓測試的機臺接地電流量到3安培，影響到機臺測試的功能
正常晶圓測試的機臺電源采用3相4線式,需注意N相和G不可混接或錯接,如果一機一組電源還好,
一般都是一組電源接幾臺機器,3相不平衡時N相會電流異常,又因混接而產(chǎn)生,如果有電熱器要住意其絕緣電阻
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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