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標(biāo)題:光學(xué)顯微鏡測量工具在在三維表面量測上的應(yīng)用

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2013-5-27 1:46:43 將本頁加入收藏

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正文:

光學(xué)測量系統(tǒng)在在三維表面量測上的應(yīng)用

應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)于物體的三維表面有著快速及非接觸等優(yōu)點,但數(shù)碼影像只呈現(xiàn)二維平面的資料,
所以應(yīng)用在三維表面量測上,必須利用空間成像幾何關(guān)系或影像光強(qiáng)度的計算方式,
來求得二維影像相對應(yīng)的 z 軸深度,目前所發(fā)展出來的三維表面光學(xué)非接觸量測系統(tǒng),

有雷射共焦顯微鏡、三角量測法、結(jié)構(gòu)光投影法和對焦尋形(Shape from
Focus)等,這些方式是將光束投影至待測物表面,

再利用光感測器或 CCD 攝影機(jī)量測待測物表面反射光的強(qiáng)度或相位變化等,推測出
物體表面形貌和這些變化量的關(guān)系,進(jìn)而重建出待測物之三維表面。

上述的方法中以雷射共焦顯微鏡的精確度最高,但其應(yīng)用上因為雷射
與針孔(pinhole)(例如:Nipkow disk)等設(shè)備昂貴而受到限制,且
因為要置入比較多的硬體設(shè)備所以系統(tǒng)體積較大,

也因其為單點光源作 xy 方向的掃瞄,所以量測的速度較慢。

一套可重建待測物三維表面的量測系統(tǒng),其優(yōu)點為系統(tǒng)硬體架構(gòu)價格便宜,
因其架構(gòu)為一般的光學(xué)顯微鏡,體積也較小,
且其光源為全域照明,所以其量測速度較快,但其精確度不及雷射共焦顯微鏡










出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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