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標(biāo)題:TEM觀察的試片的研磨步驟-材料學(xué)金相顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2013-4-8 15:14:19 將本頁加入收藏

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正文:

TEM觀察的試片的研磨步驟-材料學(xué)金相顯微鏡

傳統(tǒng)離子研磨法: 
將欲觀察的試片切成適當(dāng)大小,約5 × 10mm 大小,并另外切相同大小的墊片數(shù)片,以作為保護(hù)與平衡之用。


首先將欲觀察試片用G1 膠先對貼,再將墊片對稱貼于兩側(cè), 。膠膜盡量變薄,再置于加熱板上加熱,使其固定。之后將固定之試片于較大的墊片上,此即完成黏貼試片第一面
將墊片背面黏于手指上,將試片組在研磨盤上,利用砂紙由粗至細(xì)研磨,目
的在將對貼的試片界面磨細(xì),并拋光  , 使表面平滑,此即完成第一面之研磨。 
將試片取下,將光滑面用熱熔膠貼于乾淨(jìng)玻璃上,熱熔膠的黏貼,亦需經(jīng)過加熱加壓過程。
利用相同的研磨方法,由粗至細(xì)研磨,此即為第二面之研磨,應(yīng)磨到透光,約呈現(xiàn)琥珀色透光度并加以拋光,如圖(d)。此時試片厚度約為3~10μm 。
利用外徑3mm 、內(nèi)徑2mm 的銅環(huán),利用環(huán)氧樹脂黏貼于試片上
待其銅環(huán)上之環(huán)氧樹脂乾后,將試片泡于乾淨(jìng)的丙酮中,使熱熔膠熔掉,約三十分鐘到一小時,試片會與玻璃分開。
取出試片后,利用離子束研磨機(jī)修薄試片。此離子剪薄機(jī)離子束與試片的角度可由4~10 度,離子束的能量約為3~6keV ,
修到試片介面處有破裂為止,此時試片才有薄區(qū)










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