標(biāo)題：攜式數(shù)碼表面輪廓量測(cè)工具顯微鏡-微細(xì)元件精密測(cè)量
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-3-13 15:08:43
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正文:
微量測(cè)探頭之可攜式數(shù)碼三維顯微量測(cè)系統(tǒng)，它除可進(jìn)行一般三維表面輪廓達(dá)
0.1 微米(100nm)垂直解析度之微細(xì)元件精密檢測(cè)，
亦可進(jìn)行量測(cè)大型樣本(或具狹窄空間)微細(xì)部位之精密表面輪廓量
測(cè)。以應(yīng)用 DMD 投射出結(jié)構(gòu)光條紋，
經(jīng)準(zhǔn)直鏡組、影像縮放鏡組、聚焦物鏡、
同調(diào)影像光纖束(coherent image fiberbundles)及影像放大鏡組等光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與整合，
將結(jié)構(gòu)光條紋以俯視角度投射到待測(cè)元件之表面輪廓上，再藉由高解
析之 CCD 相機(jī)將影像擷取至電腦中，進(jìn)行影像之前處理(Image conditioning and
processing)，三維數(shù)據(jù)運(yùn)算處理(彩色多波長(zhǎng)相位移法)及三維影像疊合與重建
等重要過(guò)程，以獲得精密之三維量測(cè)數(shù)據(jù)與實(shí)體輪廓之三角網(wǎng)格(STL)等資料。
可攜式三維顯微量測(cè)系統(tǒng)之量測(cè)原理，以多波長(zhǎng)相位移法而言乃依投影到
待測(cè)微細(xì)元件表面之結(jié)構(gòu)光，
因光程差所形成之變形相位分佈來(lái)計(jì)算獲得，藉DMD 投射之精確條紋，量測(cè)系統(tǒng)可依需
求任意產(chǎn)生不同組合週期(或型態(tài))與顏色之結(jié)構(gòu)光圖譜，配合多週期之相位移
量測(cè)原理，使傳統(tǒng)面結(jié)構(gòu)光相位移三維量測(cè)所遭遇之量測(cè)不準(zhǔn)確問(wèn)題，獲得有
效解決。
本研究創(chuàng)新在于微量測(cè)探頭為可攜式，并成功以微數(shù)碼鏡式顯示器(DMD)
作為量測(cè)系統(tǒng)之核心關(guān)鍵。本專題擬發(fā)展之三維量測(cè)系統(tǒng)，首先著重于可攜式
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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