標題：使用高倍率顯微鏡來觀察光阻的圖案-金相儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-3-5 22:48:43
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正文:
觀察光阻圖案
使用高倍率顯微鏡來觀察光阻的圖案是否是我們所需要的圖案
并確定圖案上的線寬是否正確，做一個完整的確認，以便成形﹔使
用顯微鏡觀察時，需使用紫外線濾鏡以過濾顯微鏡光源的紫外光
防止光阻再度曝光。
硬烤
將定影完成后的石英基板放置烤箱高溫硬烤，其目的在于將光
阻內(nèi)所殘留的溶劑，藉由此步驟使其蒸發(fā)，則光阻未硬化的部分硬
化成形，如此一來，光阻才較能夠抵擋住下一步的活性離子蝕刻。
光阻厚度和平整度
可以利用表面輪廓測厚儀來量測光阻的厚度和平整度，若光阻
的平整度越高，在進行蝕刻時，元件輪廓表面品質(zhì)才會良好；另外，
我們在計算蝕刻的光阻和石英基板的蝕刻選擇比，也才會較準確。
在此，此條件對于我們在制作繞射式元件上占了一個重要的角色
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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