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正文:
中文名稱 英文名稱 量測值 掃描結果的物理意義
掃描穿隧顯微鏡(STM) Scanning Tunnleing Microscopy 穿隧電流 3D 形貌、電性結構與成分判定
原子力顯微鏡(AFM) Atomic Force Microscopy 原子分子間的作用力如凡德瓦爾力 3D 形貌
摩擦力顯微鏡(LFM) Lateral Force Microscopy 摩擦力 表面摩擦力或坡度的變化
磁力顯微鏡(MFM) Magnetic Force Microscopy 磁力 磁性物質的大小與形狀及磁力的大小與極性
電力顯微鏡(EFM) Electrostatic Force Microscopy 靜電力 濃度變化所產生的靜電場梯度
近場光學顯微鏡(NSOM) Near-field Scanning Optical Microscopy 近場光 表面物質對光的吸收與反射特征
掃描電容顯微鏡(SCM) Scanning Capacitance Microscopy 電容 微分電容大小與濃度分布
掃描溫度顯微鏡(SThM) Scanning Thermal Microscopy 溫度或熱導性 表面溫度與熱導的分布
力調變顯微鏡(FMM) Force Modulation Microscopy 彈性 表面物質的硬度或彈性
相位偵測顯微鏡(PDM) Phase Detection Microscopy 彈性力、吸附力、摩擦力的信號差 表面材質特性
化學力顯微鏡(CFM) Chemical Force Microscopy 吸附力差 表面電化學特性
掃描霍爾探針顯微鏡(SHPM) Scanning Hall Probe Microscopy 磁力 磁場分布
導電式原子力顯微鏡(C-AFM) Conductive Atomic Force Microscopy 電流 電流量測與表面材質電流分布圖
掃描展阻顯微鏡(SSRM) Scanning Spreading Resistance Microscopy 電流 電流大小、延伸電阻與濃度分布
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科