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描式電子顯微鏡對納米表面的檢測

過去僅能用一般光學顯微鏡探察物質的表面，近年來顯微觀察技術的進步，已能藉由精良的電子顯微技術觀察或偵測納米表面的形態(tài)。這些常見的電子顯微觀察技術，包括掃

描式電子顯微鏡莈穿
透式電子顯微鏡莈掃
描穿隧顯微鏡莈表面
電位顯微鏡莈原子力
顯微鏡等技術。

不過，由于顯像的方便性莈迅速性莈稛敏性與解析度的需求，比較常用的是原子力顯微鏡。當黏附在懸臂式彈簧片上的顯微掃描探針鉉端與樣品表面接近時，因力場而產(chǎn)生作用力，造成懸臂簧片的微小偏折。利用這個簧片的彈性變形量，轉換成電子訊號，便可以把樣
品的表面形態(tài)以圖像的方式展現(xiàn)出來。