標(biāo)題：測量表面輪廓微觀幾何形狀分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2020-2-3 7:33:36
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正文:
測定微觀幾何形狀特性的方法和儀器
為測定微觀幾何形狀的標(biāo)準(zhǔn)特性，巳創(chuàng)制不少儀器和方法．所采
用的方法幾乎都是按照輪廓來評定表面幾何形狀的。這種測量表面構(gòu)
形的方法最費時或是獲得的精度不高，·它主要是在用比較法評定表
面時采用。上面曾經(jīng)指出，輪廓包含有整個表面的數(shù)據(jù)，并能測定某
些構(gòu)形參數(shù)，而同時繪制的一些輪廓圖可以評定表面的立體圖。
用感觸法測量表面輪廓的缺點是，當(dāng)測針醫(yī)在被測表面上時會產(chǎn)
生變形，這是因為在接觸區(qū)內(nèi)產(chǎn)生較大；壓力的緣故。此外，測針的
端頭具有2—1叫m半徑的圓弧，所以當(dāng)它沿輪廓峰滑動時，便產(chǎn)生輪廓
失真．
在光學(xué)測量方法中，廣泛采用的是光切法；投影法和干涉法。光
切法就是通過狹縫而形成的光帶P245，角照射在被測表面上，因為表
面具有不平度，所以投影可呈現(xiàn)出輪廓的形狀)。該輪廓可以用帶讀數(shù)
裝置的顯微鏡檢測．整個測量系統(tǒng)稱為雙管顯微鏡，雙管顯微鏡可以
檢測粗糙度參數(shù)R。．切光法可以觀察較大不平度的形狀和尺寸，但其
分辨能力低
采用投影法時，用一只鋒利的刀片以60二傾角壓緊在被測表面上
，光源從刀片的一邊照射時使其影象投在表面上，該影象即顯示出輪
麻的不平度。輪囀用帶有讀數(shù)裝置的顯微鏡進行檢測
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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