標題：應用集成電路制造技術精細質(zhì)量檢測顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2019-2-13 3:29:49
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正文:
應用集成電路制造技術精細質(zhì)量檢測顯微鏡
目前大量的非油墨打印技術正在研究中，比如自對準打印和表面能圖形
。有預計表明在不足五年時間內(nèi)的大批量制造中圖像尺寸會降低至10 tj_m
。應用集成電路制造技術生產(chǎn)出更精細的打印頭，進而可推動很多領域的
技術進步。深反應離子刻蝕(Deep
Reactivc Ion Etching，DRIE)技術也允許幾乎垂直的側(cè)壁。MEMS制備方
法的優(yōu)點包括亞微米的精確性、材料的耐用性以及大批量和低成本生產(chǎn)能
力。MEMS技術用于生產(chǎn)噴墨打印頭中的噴嘴、集合管和溝槽機構是很理想
的�；萜展臼鞘褂肕EMS技術制造打印頭的先驅(qū)，Sliverbrook公司僅提供
MEMS打印頭，F(xiàn)ujifilm Dimatix利用MEMS技術的優(yōu)點提供M-Class的打印頭
。這些打印頭的硅片噴嘴板比其他壓電式打印頭更耐磨，也能提供油墨液
滴超精準的方向性。噴墨打印的發(fā)展并不僅限于噴墨打印技術，紫外光固
化和噴墨打印的結(jié)合也取得很大的成功，這種成功也延伸到其他相關的技
術中，如電子束固化(c-beam curing)和低成本發(fā)光二極管(I,ight Emitti
ng Diode，LED) UV。例如，紫外光固化在食品或食品密切相關的領域中的
應用受到限制，因為配方中需要加入光引發(fā)劑，而這些光引發(fā)劑是有毒的
。電子束固化油墨中不需要用到光引發(fā)劑，可作為一種代替產(chǎn)品，它有著
紫外光同化噴墨打印的優(yōu)點（黏附性、耐磨性、可靠性、高速），沒有缺
點。然而，電子束固化設備的價格卻是目前的一個局限性因素。就LED，UV
而言，其設備是低功率、低成本且不產(chǎn)生大量的熱。它們能用于“凍結(jié)”
沖撞到基底上的打印液滴而不是使其完全固化，這就實現(xiàn)了對基底濕度和
打印質(zhì)量的控制，當需要使用多種流體類型時，可以顯著地提高打印
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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