標(biāo)題：集成電路的測量設(shè)備光度計(jì)-測量儀器的應(yīng)用
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2018-10-1 0:06:02
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正文:
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超大規(guī)模集成電路的測量設(shè)備包括絕對(duì)和相對(duì)測量設(shè)備。絕對(duì)測量設(shè)
備包括美國國家標(biāo)準(zhǔn)局的光度計(jì)和激光干涉儀、美國國家標(biāo)準(zhǔn)局的掃描電
鏡和激光干涉儀、帶有光度計(jì)的尼康(Nikon)掩膜泓試設(shè)備和線性編碼器，
它們都與基本的測試標(biāo)準(zhǔn)相結(jié)合。相對(duì)測量設(shè)備用相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)來校準(zhǔn)，然后
再將樣品與這個(gè)棍對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較。相對(duì)測量設(shè)備包括電視系統(tǒng)、十字叉
絲目鏡、像切顯微鏡和光度計(jì)等。但不管標(biāo)準(zhǔn)制定得如何細(xì)微，不管測量
設(shè)備的分辨率如何高，泓量誤差仍然始終是一個(gè)主要問題。測量誤差的主
要來源是。
1． 不同的操作者對(duì)圖形邊緣位置的判別和聚焦好壞的判別是不同的
，
2． 在參數(shù)測量培訓(xùn)中的不適當(dāng)培訓(xùn)所造成的影響I
3． 關(guān)予測量技術(shù)的先入為主的錯(cuò)誤概念I(lǐng)
4． 泓量系統(tǒng)中的圖形套不準(zhǔn)，
5． 振動(dòng)；
6． 光一光或電一光系統(tǒng)中能量強(qiáng)度、聚焦元件位置的變動(dòng)。
7．電氣方面的變動(dòng)，
8． 測量系統(tǒng)相對(duì)于所用標(biāo)準(zhǔn)的非線性，
9． 由一個(gè)測量設(shè)備轉(zhuǎn)移到另一個(gè)測量設(shè)備時(shí)，測量結(jié)果的互換性較
差。
在測量過程中，我們可能會(huì)遇到各種測量現(xiàn)象，例如鄰近效應(yīng)現(xiàn)象，
確定同一個(gè)邊緣位置卻存在不同的光學(xué)閾，或者根本就不清楚什么是確定
邊緣位置的光學(xué)閾等等。這些現(xiàn)象的出現(xiàn)使我們認(rèn)識(shí)到，為了進(jìn)行線寬校
準(zhǔn)，應(yīng)該在整個(gè)被測區(qū)域內(nèi)，使用許多寬度來分別測量線寬和線間距
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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