標(biāo)題：MEMS這個(gè)名詞經(jīng)常用于描述傳感器的種類(lèi)
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2018-7-15 0:48:32
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正文:
MEMS這個(gè)名詞經(jīng)常用于描述傳感器的種類(lèi)
應(yīng)變測(cè)量的一個(gè)主要問(wèn)題在于熱效應(yīng)。溫度的變化導(dǎo)致敏感元件膨脹或收縮
，將引起熱致應(yīng)變。需要采用溫度補(bǔ)償來(lái)解決這一問(wèn)題，溫度補(bǔ)償可以設(shè)計(jì)
在惠斯頓電橋里面。壓電應(yīng)變片對(duì)溫度變化更敏感，也容易產(chǎn)生更大的特性
漂移，在使用過(guò)程中必須通過(guò)定期校準(zhǔn)對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償。應(yīng)變片在運(yùn)動(dòng)和醫(yī)療
保健領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，例如用于測(cè)試握力的測(cè)力計(jì)。
MEMS傳感器
MEMS這個(gè)名詞經(jīng)常用于描述傳感器的種類(lèi)，也用于描述傳感器的制備過(guò)
程。MEMS是一個(gè)三維的、微型化的機(jī)械和電路結(jié)構(gòu)，微結(jié)構(gòu)的尺寸范圍在1
～100p．m之間，并采用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體加工工藝進(jìn)行制備。MEMS由機(jī)械微結(jié)
構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器和微電子組成，所有結(jié)構(gòu)都集成在同一塊硅基片上
。
目前低成本、超緊湊型、低功耗多軸MEMS傳感器的出現(xiàn)導(dǎo)致了消費(fèi)電子
產(chǎn)品器件的快速增長(zhǎng)。MEMS傳感器已經(jīng)出現(xiàn)在智能手機(jī)、平板電腦、游戲機(jī)
控制器、便攜式游戲設(shè)備、數(shù)碼相機(jī)、攝像機(jī)等眾多消費(fèi)產(chǎn)品中。在醫(yī)療保
健領(lǐng)域如血壓計(jì)、起搏器、通氣機(jī)和人工呼吸機(jī)等設(shè)備上也大量采用了MEMS
傳感器j雖然MEMS傳感器種類(lèi)繁多，但最重要、應(yīng)用最多的兩種是加速度計(jì)
和陀螺儀，由美國(guó)模擬器件公司和飛思卡爾半導(dǎo)體公司生產(chǎn)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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