標題：微結構具有由微結構形狀-硅微機械部件
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2018-1-21 1:45:01
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正文:
微結構具有由微結構形狀-硅微機械部件
微機械加工技術的迅速發(fā)展也導致了微執(zhí)行器的誕生。這就
使得制作硅微機械部件成為可能。
微機電系統(tǒng)技術的發(fā)展將使人類認識和改造世界的能力取得重
大突破，給國民經(jīng)濟和國防建設帶來深遠的影響。在不斷完善本領
域的設計與加工制造技術的同時，也為新的研究領域的開拓奠定了
基礎。
微機電系統(tǒng)的定義與內涵
微機電系統(tǒng)的概念是在20世紀末被提出的，它一般泛指特征尺
寸在亞微米至亞毫米范圍的一種功能裝置。但是目前關于微機電系
統(tǒng)的定義還沒有統(tǒng)一的確切形式，美國、日本、歐洲由于各自發(fā)展
微機電系統(tǒng)的途徑和技術條件不一樣，所以各自的定義也各不相同
，美國一般稱其為微機電系統(tǒng)，日本一般稱其為微機械，歐洲則稱
其為微系統(tǒng)。
美國北卡羅萊納微電子中心(MCNC)對微機電系統(tǒng)的定義是：微
機電系統(tǒng)是由電子和機械元件組成的集成化微器件或微系統(tǒng)，它是
采用與集成電路兼容的大批量處理工藝制造的，并且尺寸在微米到
毫米之間。它將計算、傳感與執(zhí)行融合為一體，從而改變了我們感
知和控制自然界的方式。
日本微機械中心的定義是：微機械由只有幾個毫米大小的功能
元件組成的，它能夠執(zhí)行復雜、細微的任務。
歐洲NEXUS的定義是：微結構產(chǎn)品具有由微結構形狀提供的技
術功能。微系統(tǒng)由多個微元件組成，并作為一個完整的系統(tǒng)進行優(yōu)
化，以提供一種或多種特定功能，在許多場合包括微電
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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